洁净室
发布日期:2018-11-05
洁净室要达到洁净等级,须有综合措施,其中包括工艺布置、建筑平面、建筑构造、建筑装修、人员和物料净化、空气洁净措施、维护管理等。其中空气洁净措施是实现洁净等级的根本保证。就空气洁净而言,主要有以下几项具体措施:
(1)对
洁净室的送风须是有很高洁净度的空气。因此,须选用亚高效过滤器(洁净级别低时)作为终端过滤器,对进入
洁净室的空气,进行过滤。为保护终端过滤器和延长其寿命,须使空气先经中效过滤器进行过滤。
(2)根据
洁净室的等级,合理选择
洁净室的气流分布流型,在工作区应避免涡流区;尽量使送入房间的洁净度高的空气直接到达工作区;气流的流动有利于
洁净室内的微粒从回风口排走。
(3)有足够的风量,既为了稀释空气的含尘浓度,又保证有稳定的气流流型。
(4)不同等级的
洁净室、
洁净室与非
洁净室或
洁净室与室外之间均应保持一定的正压值。